半導体から読み解く現代テクノロジー入門
第3回：なぜ半導体の“製造”は難しいのか？ナノスケールの超精密プロセス

半導体エネルギー研究所顧問・菊地正典氏に聞く
第２回 半導体の「ばらつき」に秘められた技術革新の可能性